利晟納米：DLC涂層加工的顯微結(jié)構(gòu)

在DLC涂層的眾多種類中，有一種較為常見的Me-DLC涂層，長(zhǎng)久以來在工業(yè)領(lǐng)域有著普遍的應(yīng)用。

2022-09-16 14:32:50中山市利晟納米科技有限公司

在DLC涂層的眾多種類中，有一種較為常見的Me-DLC涂層，長(zhǎng)久以來在工業(yè)領(lǐng)域有著普遍的應(yīng)用。

Me-DLC涂層具有很低的內(nèi)應(yīng)力，因此，該種涂層具有很好的涂層結(jié)合力。Me-DLC涂層中可以加入多種元素，如Ti、Nb、Ta和B等，但目前Z常用的方法是加入鎢元素（W），形成W-DLC（也可以是W-C:H或者a-C:H:W）。因?yàn)榕c其他元素相比，W-DLC涂層具有相對(duì)較低的摩擦系數(shù)（通常在0.1～0.2，干式），從而具有很好地耐磨損性能，以及良好的耐滾動(dòng)接觸疲勞性能。豪澤公司生產(chǎn)的此類Endurance涂層典型的沉積溫度低于160℃，可以在不軟化熱敏性鋼（如100Cr6）的前提下完成涂層。目前，Endurance涂層一個(gè)典型的應(yīng)用是涂層高規(guī)格滾柱軸承。

含氫DLC涂層加工

DLC類涂層當(dāng)中Z普遍的是通過各種PA-CVD（等離子輔助CVD，通過射頻、微波或其他等離子激i活方式）制備的含氫類DLC。含氫類DLC涂層具有相對(duì)高的顯微硬度（一般在2000～3000HV）和極低的摩擦系數(shù)（0.05～0.15，干式）。通過PA-CVD方法制備的含氫DLC涂層表面粗糙度非常低。Z近，它們已經(jīng)成為汽車引擎零部件，如梃桿、活塞桿和各種柴油噴射系統(tǒng)零部件涂層的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

無氫類DLC涂層加工

Z近，另一類DLC涂層，ta-C涂層正在越來越引起人們的興趣。因?yàn)榇祟愅繉泳哂蟹浅８叩挠捕燃胺浅：玫哪湍Σ列阅堋Ａ硗猓瑹o氫類ta-C涂層結(jié)合某些潤(rùn)滑劑能夠明顯減少摩擦，例如在尼桑汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)氣閥機(jī)構(gòu)上就有此類技術(shù)的應(yīng)用。此類DLC涂層一般通過石墨靶的電弧蒸發(fā)來獲得。涂層的特點(diǎn)是具有非常高的硬度值，一般在4000～7000HV，并且?guī)缀醪缓瑲洹Ｋ猿０汛祟愅繉咏凶鰺o氫類DLC涂層。在ta-C類DLC涂層中，碳原子以類似水晶體4晶點(diǎn)結(jié)構(gòu)（四面體）為主體。