DLC顯微結構的涂層加工，在DLC在眾多的涂層中，有一種比較常見Me-DLC長期以來，涂料在工業(yè)領域得到了普遍的應用。



DLC涂層具有很低的內應力，所以這種涂層具有很好的涂層結合力。Me-DLC各種元素可以添加到涂層中，例如Ti，Nb，Ta然而，目前Z常用的方法是添加鎢（W），形成W-DLC（也可以是W-C:H或者a-C:H:W）。因為與其它元素相比，W-DLC涂層的摩擦系數相對較低(通常為0.1～0.2、干式)，因此具有良好的耐磨性和良好的抗?jié)L動接觸疲勞性能。豪澤公司生產的這種產品Endurance典型的沉積溫度低于160℃，可用于不軟化熱敏鋼(如100Cr6)完成涂層的前提下。Endurance涂層的典型應用是涂層高標準滾柱軸承。



含氫DLC涂層加工

DLC是非常常見的涂層是通過各種涂層PA-CVD(等離子輔助CVD，含氫物質通過射頻、微波或其他等離子激i活方法制備DLC。含氫類DLC顯微硬度較高的涂層(一般為2000~3000)HV）極低的摩擦系數(0).05～0.15、干式)PA-CVD含氫的方法DLC涂層表面粗糙度很低。Z近，它們已成為汽車發(fā)動機部件的工業(yè)標準，如豎桿、活塞桿和各種柴油噴射系統(tǒng)部件的涂層。



無氫類DLC涂層加工

Z近，另一類DLC涂層，ta-C涂層越來越引起人們的興趣。因為這種涂的硬度和很好的耐摩擦性。此外，無氫ta-C結合一些潤滑劑，涂層可以明顯減少摩擦。例如，這種技術應用于日產汽車的發(fā)動機氣閥機構。DLC通過石墨目標的電弧蒸發(fā)來獲得涂層。涂層的特點是硬度值很高，一般在4000~70000之間HV，而且?guī)缀鯖]有氫。因此，這種涂層通常被稱為無氫涂層DLC涂層。在ta-C類DLC在涂層中，碳原子主要類似于水晶四晶點結構(四面體)。